氮氧化物分析儀是基于化學發光法檢測技術檢測氮氧化物的含量，反應室是整個系統中的核心部件，而臭氧的濃度及純度等參數也同樣對儀器的長期工作性能有重要影響。
氮氧化物分析儀的故障判斷處理：
1、壓力過高及流量過低報警：泵，漏氣
NO的跨度超下警，經過到現場檢查發現，儀器有壓力過高及流量過低報警，從儀器原理和管路出發，壓力和流量都是在同一管路上，當出現抽力不足時流量小壓力大，或儀器內部管路有漏氣可能。
兩種情況，用排除方法，先用堵頭將采樣入口堵住，觀察儀器流量是否接近零，如果接近零，說明管路不漏氣，如果流量變化不大，說明管路有漏氣，先檢查管路。
在不漏氣情況下，檢查采樣泵，泵抽力不夠主要有泵膜臟了、泵膜破了、泵軸承壞了。
泵膜臟情況：泵膜臟，泵膜上面有污垢，上下振動不緊密，抽力不夠，用酒精清洗泵膜干燥后安裝回去，報警排除。
泵膜壞情況：在拆開泵后，發現泵膜已經出現斷裂，更換新泵膜后裝回去，流量和壓力都正常了。
2、流量過低報警
例行任務檢查零點和跨度變化不大，到現場檢查發現有流量報警。流量報警是因為通過流量傳感器的氣流少，未達到設定的流量值面報警，檢查流量為何少了。
從儀器管路出發，分兩部分排除，第一部分是采樣總管到儀器采樣入口處，第二部分為儀器內部；
這兩部分可能有堵塞了，先檢查第一部分，管路無堵塞，過濾器膜也比較干凈，不是外部環境堵塞；
檢查第二部分，氣體沿反應室管路走，檢查毛細管時，發現毛細管內部黑黑的，正常為玻璃透明的；
應該是有灰塵進入毛細管造成堵塞，用酒精浸泡5min后清洗安裝回去，流量正常。
3、COOLER溫度99℃報警
現場巡檢時COOLER溫度報警，從理論出發，COOLER是使光電倍增管處于低溫環境減少干擾的散熱器，溫度過高會影響PMT工作。
溫度高了，有可能是COOLER故障了，或散熱不良。先從可以簡單處理的入手，先清洗COOLER后面的風扇濾網，使得散熱更加好，這時報警排除。
4、COOLER溫度-99℃報警
巡檢發現COOLER溫度-99℃報警，風扇濾網很干凈，用手去摸COOLER的散熱片，發現很涼，說明COOLER沒有工作，沒有工作可能是因為沒有通上電，關機。
把連接COOLER接線頭拔出，檢查線頭及線，完好，再將線接回去時，開機顯示99℃報警；
這個是COOLER溫度過高的報警，說明COOLER的傳感器經接入，待開機后40min，COOLER工作正常，報警排除，從這可看出，有可能是線頭接觸不良造成供電不正常，造成報警。
5、無臭氧輸出
無臭氧輸出，常見的故障：
臭氧發生器故障，臭氧發生器高壓故障，測量量程故障。跨度檢查發現儀器無反應，從原理出發，標氣儀器數據基本無變化，可能是臭氧部分出現了問題，無臭氧與NO反應就不能產生光，光電倍增管采集不到光就不能計算轉換成NO濃度。
產生臭氧的裝置是臭氧發生器，查看供電，供電板臭氧供電燈亮，供電正常，將臭氧發生器拆下，發現臭氧發生器放電電極處有嚴重的生銹現象；
正常為光亮的，從管路上去查找，空氣經過干燥瓶后來到臭氧流量開關再進入臭氧發生器的，出現生銹很有可能進入大量水氣；
這時發現干燥瓶里的變色硅膠已經全部變紅，失去了干燥功能，水氣直接進入臭氧發生器，在高壓放電情況下臭氧發生器損壞了。
經過更換臭氧發生器后，儀器正常。從這說明了平時的維護硅膠沒有及時更換就容易造成儀器的故障。
6、鉬爐無法加熱
鉬轉化效率低，發現鉬爐溫度低報警，鉬爐加熱燈常亮。
加熱燈常燈，說明加熱控制器正在輸出電壓，用萬用表測量加熱絲兩端電壓，有電壓輸出，正常，但加不上熱，確定就是鉬爐內加熱器故障。
